產(chǎn)品介紹
四路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的紅心過來促進反應(yīng)，因而這種CVD成為等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）,內(nèi)爐膛采用高質(zhì)量的氧化爐陶瓷纖維可以提高設(shè)備加熱效率，同事也可以延長儀器的使用壽命。
主要特點：雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)禍心個點中性物質(zhì)很容易被吸附到較低溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜
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常規(guī)爐型選型表
型號 | 規(guī)格φ*L(mm) | 最高溫度（℃） | 輸入電源/功率（V/KW） |
SK2-2-12TPA2 | φ40*L205 | 1200℃ | 220V/2KW |
SK2-3-12TPA3 | φ40*L350 | 1200℃ | 220V/3KW |
SK2-4-12TPA4 | φ40*L440 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-4-12TPA3 | φ60*L205 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-4-12TPA3 | φ60*L350 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-5-12TPA3 | φ60*L440 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-5-12TPA3 | φ80*L205 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-6-12TPA3 | φ80*L350 | 1200℃ | 220V/6KW |
SK2-5-12TPA3 | φ80*L440 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-6-12TPA3 | φ100*L205 | 1200℃ | 220V/6KW |
SK2-7-12TPA3 | φ100*L350 | 1200℃ | 220V/7KW |
SK2-2-14TPA3 | φ100*L440 | 1200℃ | 220V/8KW |
備注 | 可定制各種異型尺寸 | 雙溫區(qū) | 多溫區(qū) |
細節(jié)展示
IPv6 network supported
