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X射線測(cè)厚儀表面密度測(cè)量裝置

Ⅰ . 測(cè)量原理及應(yīng)用特點(diǎn)

測(cè)量方法為射線穿透吸收測(cè)量，測(cè)量的直接物理量為面積密度（克重）。當(dāng)X射線穿透材料時(shí)，射線被材料反射、散射或吸收，導(dǎo)致射線強(qiáng)度發(fā)生一定的衰減，其衰減與穿透材料的表面密度正相關(guān)。

當(dāng)材料的堆積密度固定或一致時(shí)，可以通過(guò)體積密度換算（面密度=密度*厚度）來(lái)測(cè)量材料的厚度。

X射線測(cè)厚儀是一種低能量輻射裝置，可以通過(guò)電源來(lái)開(kāi)啟和關(guān)閉射線。一般情況下，不需要特殊保護(hù)。

X射線測(cè)厚儀一般采用O型掃描架。

X射線測(cè)厚儀與激光位移傳感器結(jié)合，采用C型大理石掃描架衍生出X射線激光測(cè)厚機(jī)，可實(shí)現(xiàn)面密度和厚度的同時(shí)測(cè)量，可用于鋰涂層的表面密度和頭尾減薄的測(cè)量。

二．性能卓越的X射線測(cè)量傳感器

1） X射線測(cè)量傳感器是該機(jī)的關(guān)鍵核心技術(shù)，由具有20年經(jīng)驗(yàn)的核探測(cè)專家打造，具有國(guó)內(nèi)罕見(jiàn)的高重復(fù)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

2） X射線發(fā)射機(jī)采用雙閉環(huán)電路控制系統(tǒng)，保證輻射強(qiáng)度長(zhǎng)期穩(wěn)定，測(cè)量重復(fù)性高。

3） X射線探測(cè)器采用德國(guó)前置放大電路技術(shù)，具有高信噪比。

4） X射線發(fā)射器采用特殊的狹縫射線準(zhǔn)直通道和小光斑設(shè)計(jì)，結(jié)合高信噪比探測(cè)器和軟件算法，可以提供更高的空間分辨率精度和條紋缺陷識(shí)別。

根據(jù)實(shí)際測(cè)量需要，X射線發(fā)射器的輸出光斑設(shè)計(jì)為5*5mmΦ9mm和2*12mm。

其中2*12mm射線光斑是獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)鋰鍍層邊緣減薄區(qū)域的尺寸測(cè)量。

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三、X射線表面密度計(jì)/測(cè)厚儀的技術(shù)特點(diǎn)及強(qiáng)大的功能模塊

1）可實(shí)現(xiàn)掃描測(cè)量、定點(diǎn)測(cè)量、循環(huán)定點(diǎn)測(cè)量、掃描與定點(diǎn)模式任意切換。

2）實(shí)時(shí)呈現(xiàn)單條/多條等高線、分區(qū)線、趨勢(shì)線等豐富的測(cè)量曲線，并顯示多種質(zhì)量數(shù)據(jù)。

3）基于數(shù)據(jù)庫(kù)的海量總值數(shù)據(jù)以excel格式存儲(chǔ)，歷史數(shù)據(jù)查詢追溯，歷史曲線重新顯示。

4）專業(yè)SPC統(tǒng)計(jì)分析，自動(dòng)生成質(zhì)量報(bào)告，并可根據(jù)客戶需求定制。

5）多種過(guò)程控制解決方案，實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)控、五線質(zhì)量控制、多重預(yù)警報(bào)警、超限標(biāo)記。

6）支持閉環(huán)自動(dòng)控制，可與客戶MES系統(tǒng)對(duì)接，可實(shí)現(xiàn)多機(jī)架點(diǎn)對(duì)點(diǎn)跟蹤測(cè)量。

7）自主研發(fā)數(shù)據(jù)采集卡和控制板卡、實(shí)時(shí)通訊系統(tǒng)和CANOPEN總線通訊傳輸，保證高速測(cè)量響應(yīng)。

8）更好的易用性和友好的人機(jī)界面，一鍵式智能操作。

四、性能參數(shù)

物品	X射線表面密度計(jì)/測(cè)厚儀	X射線激光一體機(jī)
模型	RXG700L 、RXG750L 、RXG850L 等	RXLG700L 、RXLG750L RXLG850L等
檢測(cè)項(xiàng)目	面密度	面密度&厚度
掃描架	O型掃描框架	C掃描框架
測(cè)量方法	掃描測(cè)量、定點(diǎn)測(cè)量、循環(huán)定點(diǎn)測(cè)量	掃描測(cè)量、定點(diǎn)測(cè)量、循環(huán)定點(diǎn)測(cè)量
測(cè)量范圍	0 ~1000 g/m2或 0~1000μm	0 ~1000 g/m2或 0~1000μm
光斑尺寸	Φ9mm 、55mm或212mm	Φ9mm（射線）&30*1200μm（激光）
采樣距離	1毫米	1毫米
重復(fù)精度	±0.05g/ ㎡或±0.05%	±0.05g/ ㎡（射線）&±0.4μm（激光）