技術(shù)參數(shù)
真空泵 | (需要油) 旋轉(zhuǎn)真空泵 |
旋轉(zhuǎn)式泵送速度 | 50赫茲: 16 m3/h (4.4 L/s) / 60 Hz: 19.2m3/h (5.2 L/s) |
渦輪分子泵的速度 | 600L/s |
真空極限 | 5x10-4Pa |
最大蒸發(fā)電流 | 100A |
工作壓力 | 5x10-3Pa |
抽真空時間 | 5 Min ( 2Pa ) |
真空測量 | 測量范圍從大氣到1x10-5Pa |
真空室尺寸 | (p250*300mm(高度)耐刮擦石英玻璃 |
蒸發(fā)目標源 | 目標材料:碳棒((p5mm)/目標源: 碳棒 |
操作方法 | 使用說明書 |
重量/尺寸 | 80kg/長900mm×寬510mm×高1100mm |
電源 | AC 110V 60Hz或AC 220V 50Hz |
耗電量 | <3000W |
保修 | 一年有限保修,終身產(chǎn)品支持 |