技術(shù)參數(shù)

真空泵

(需要油) 旋轉(zhuǎn)真空泵

旋轉(zhuǎn)式泵送速度

50赫茲: 16 m3/h (4.4 L/s) / 60 Hz: 19.2m3/h (5.2 L/s)

渦輪分子泵的速度

600L/s

真空極限

5x10-4Pa

最大蒸發(fā)電流

100A

工作壓力

5x10-3Pa

抽真空時間

5 Min ( 2Pa )

真空測量

測量范圍從大氣到1x10-5Pa

真空室尺寸

(p250*300mm(高度)耐刮擦石英玻璃

蒸發(fā)目標源

目標材料:碳棒((p5mm)/目標源: 碳棒

操作方法

使用說明書

重量/尺寸

80kg/長900mm×寬510mm×高1100mm

電源

AC 110V 60Hz或AC 220V 50Hz

耗電量

<3000W

保修

一年有限保修,終身產(chǎn)品支持

 



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