旋轉(zhuǎn)泵的速度

50Hz： 16 m³/h (4.4 L/s)/60Hz： 19.2m³/h (5.2 L/s)

分子泵的速度

300 L/s

真空極限

5x10-5 Pa

工作壓力

0.5-5 Pa

抽真空時(shí)間

＞10 Min ( 10^-3Pa )

真空測(cè)量

測(cè)量范圍從大氣到1x10^-6Pa

氣體控制

氣體流量控制器

腔體大小

φ260*200mm(高)金屬

磁控靶源

目標(biāo)尺寸φ50*3mm(銅)/目標(biāo)源： 弱磁性物質(zhì)/材料

操作方法

說明書

重量/尺寸

100kg/長(zhǎng)610mm×寬420mm×高490mm

電源

AC 110V 60Hz或AC 220V 50Hz

耗電量

＜3000W

冷卻消耗

風(fēng)冷（泵）+水冷（濺射靶）。

保修期

一年有限保修，終身產(chǎn)品支持