旋轉(zhuǎn)泵的速度

50Hz:16m³/h(4.4L/s)/60Hz:19.2m³/h(5.2L/s)

真空極限

2Pa

最大濺射電流

1.6A

工作壓力

20Pa-8Pa

抽真空時(shí)間

＜5Min(2Pa)

真空測(cè)量

測(cè)量范圍從大氣到2x10^-2mbar

氣體控制

氣體流量控制器

腔體大小

φ350*240mm（高）耐刮擦石英玻璃

目標(biāo)來源

靶材尺寸φ200mm/靶材來源： 金、銀、鉑、銅

操作方法

使用說明書

重量/尺寸

70kg/長490mm×寬400mm×高590mm

電源

AC110V 60Hz或AC220V 50Hz

耗電量

<1500W

保修

一年有限保修，終身技術(shù)支持