簡介
緊湊型自動離子濺射鍍膜機（SD800型號），專為實驗室SEM樣品制備而設(shè)計。 它廣泛用于在非導(dǎo)電SEM樣品上涂上Au以獲得更好的成像效果。它也非常適合表面處理。
使用適當?shù)恼婵毡每煽焖龠_到工作真空壓力。它產(chǎn)生的熱量少得多。 它是用戶友好的，并且使用時間控制易于操作。
鍍膜儀包含有真空泵。
參數(shù)
真空泵 | （泵油）旋轉(zhuǎn)真空泵 |
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速 | 50 Hz:8m3/h (2.2L/s)/ 60Hz:9.6m3/h (2.6L/s) |
抽真空時間 | <2Min |
腔體尺寸 | Φ115*100mm(高)抗刮石英玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸φ50*0.1mm(金)/濺射靶源: 金、銀、鉑 |
操作方法 | 操作手冊 |
重量/尺寸 | 40kg/307mm長x260mm寬x260mm高 |
電源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
電源功率 | <1500W |
冷卻方式 | 風冷(蒸發(fā)) |
質(zhì)量保證 | 一年有限質(zhì)量保證/保修/支持 |
IPv6 network supported
