簡(jiǎn)介
離子濺射鍍膜機(jī)（SD900 型號(hào)）是實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備的理想選擇。 它廣泛用于在非導(dǎo)電SEM樣品上涂上Au以獲得更好的成像效果。它也非常適合表面處理。
使用適當(dāng)?shù)恼婵毡每稍?分鐘內(nèi)迅速達(dá)到工作真空壓力。它產(chǎn)生的熱量少得多。它對(duì)用戶友好且易于操作。
鍍膜儀包含有真空泵。
參數(shù)
真空泵 | （泵油）旋轉(zhuǎn)真空泵 |
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速 | 50 Hz: 8m3/h (2.2L/s)/ 60Hz: 9.6m3/h (2.6L/s) |
極限真空度 | 2Pa |
最大蒸發(fā)電流 | 0-20mA |
工作壓力 | 30Pa-7Pa |
抽真空時(shí)間 | <5Min(2Pa) |
真空測(cè)量 | 測(cè)量范圍從大氣壓到2*10-2mbar |
氣體控制 | 氣體流量控制閥 |
腔體尺寸 | Φ150*120mm (高) 抗刮石英玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸φ50*0.1mm(金)/濺射靶源: 金、銀、鉑 |
操作方法 | 操作手冊(cè) |
重量/尺寸 | 45kg/360mm長(zhǎng) x 300mm 寬x 380mm 高 |
電源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
電源功率 | <1500W |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
質(zhì)量保證 | 一年有限質(zhì)量保證/保修/支持 |
IPv6 network supported
