簡(jiǎn)介
磁控離子濺射鍍膜機(jī)（SD900M 型號(hào)）是實(shí)驗(yàn)室 SEM 樣品制備的理想選擇。 它廣泛用于在非導(dǎo)電或熱敏 SEM 樣品上涂上 Au，以獲得更好的成像效果。 它還非常適合表面處理，避免損壞基板樣品。
SEM下的涂層結(jié)果樣品圖片（SD-900M 型號(hào)） EPTFE（加長(zhǎng)聚四氟乙烯）
低真空，使用合適的真空泵5分鐘內(nèi)即可快速達(dá)到。它產(chǎn)生的熱量少得多，并且避免了等離子體對(duì)基板樣品的損壞。它對(duì)用戶(hù)友好且易于操作。鍍膜儀包含有真空泵，且冷卻器是可選的。
參數(shù)
真空泵 | （泵油）旋轉(zhuǎn)真空泵 |
旋轉(zhuǎn)真空泵轉(zhuǎn)速 | 50Hz: 8 m3/h (2.2L/s)/ 60Hz: 9.6m3/h (2.6L/s) |
最大蒸發(fā)電流 | 100mA |
極限真空度 | 2Pa |
工作壓力 | 20Pa-8Pa |
抽真空時(shí)間 | <5 Min(2Pa) |
真空測(cè)量 | 測(cè)量范圍從大氣壓到2*10-2mbar |
氣體控制 | 氣體流量控制閥 |
腔體尺寸 | Φ150*120mm (高) 抗刮石英石玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸 φ50*0.1mm(金)/濺射靶源: 金、銀、鉑 |
操作方法 |  操作手冊(cè) |
重量/尺寸 | 45kg/360mm長(zhǎng)x300mm寬x380mm高 |
電源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
能量消耗 | <1500W |
冷卻方式 | 水冷(可選) |
質(zhì)量保證 | 一年有限質(zhì)量保證/保修/支持 |
IPv6 network supported
